產品特點

最小檢測元件：>200μm

檢測速度≥5FOV/s（解析度4-12μm）

可量化輸出尺寸、間距、共線性等值

可以據工藝定制光源

可檢測項目

漏固、固偏、固反、固重、雜物、短路、

芯片相連、共線性等缺陷